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Parker派克调压阀SMSQ2Micro系列Veriflo阀

Parker派克调压阀SMSQ2Micro系列Veriflo阀

简要描述:
我司专业销售Parker派克阀门,今天介绍的是Parker派克调压阀SMSQ2Micro系列Veriflo阀门。Parker派克SMSQ2Micro减压阀用于狭小空间需要精确压力控制的UHP超高纯使用点应用。提供优秀的可靠性和泄露完整性,使其成为关键的半导体操作的理想选择。订货号:45800978-2 型号:SMSQ2MICRO130E60102是我司现货产品。

更新时间:2022-12-20

访问量:136

厂商性质:代理商

生产地址:

  Parker派克Veriflo产品组SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E (0.15 Cv)是市场上先进的微型超高纯减压阀。产品提供精密且稳定的压力控制,提高了MFC(质量流量控制器)的性能,这对半导体生产的重复性和产量至关重要。产品同样表现出优异的泄露完整性和底粒子生成,以减少对半导体应用中至关重要的的过程污染.

  减压阀适用于惰性气体和腐蚀性气体,为阶跃函数流量需求变化提高出色响应。产品采用自动定心束缚膜片设计,提供稳定阀座密封和压力调节。没有阀芯弹簧和阀座滞留螺纹,这样大限度减少粒子生成和截留,进一步提高工艺清洁度和吹扫性能.

  Parker派克SMSQ2Micro接液部件由特殊金属制备,提供优异的耐腐蚀性和泄漏完整性。阀体材料为内部电解抛光 Vericlean? 316L不锈钢。Vericlean? 是派克公司的UHP超高纯级不锈钢。膜片和阀芯材料为哈氏合金 C-22?。这些材料与SMSQ2Micro系列设计特点相结合,使SMSQ2Micro系列具有强耐腐蚀性和更高循环寿命,入口压力高达250.

  SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均采用与量子阀相同间距接口,符合SEMI模块化接口规范.

  SMSQ2Micro系列减压阀的内部(阀座)密封和金属外部密封通过氦泄漏测试,使用质谱仪以获得在苛刻超高纯应用中的性能和稳定性.


  Parker派克调压阀SMSQ2Micro系列市场:


  半导体

  分析试验室

  制药

  生物制药

  航空航天

  工业


  特点和优势:


  有C 和 W密封贴面安装1-1/8和1-1/2


  Parker派克调压阀SMSQ2Micro系列Veriflo阀体尺寸


  极低粒子数

  束缚膜片有效减少接液部件的弹簧,增加安全性

  SMSQ2Micro0.06 Cv,SMSQ2Micro130E 0.15 Cv

  出口压力范围: -10 psig 到 60 psig

  内漏率:≤ 5 x 10-8 scc/sec立方厘米/秒 He

  外漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec立方厘米/秒 He

  5微英寸(Ra粗糙度)电解抛光表面处理

  工作压力范围:-40°F 至 +150° F (-40°C 至 +66°C)



  应用:


  腐蚀性和特殊气体

  半导体工具

  工具挂钩

  气体柜

  阀组箱 (VMB)


  Parker派克汉尼汾调压阀SMSQ2Micro系列Veriflo阀门优点:


  - 符合SEMI模块化接口规范

  - 易于部件改装

  - 标准的哈氏合金C-22? 提升阀芯和膜片

  - 占地面积小,可与Veriflo Quantum阀门的间距相同

  - 标准的全内部电抛光

  - 没有弹簧或螺纹暴露在湿润区域中

  - 极低的颗粒数

  - 有0.06和0.15 Cv两种规格可供选择


  Parker派克调压阀SMSQ2Micro系列Veriflo阀门相关型号:


  订货号        流体容量(Cv)  压力范围(psig)      型号

  45800745-1     0.06          30 psig          SMSQ2MICRO30102

  54015923-1     0.06          30 psig          SMSQ2MICRO30602

  45800745-2     0.06          60 psig          SMSQ2MICRO60102

  54015923-2     0.06          60 psig          SMSQ2MICRO60602

  45800978-1     0.15          30 psig          SMSQ2MICRO130E30102

  45800978-2     0.15          60 psig          SMSQ2MICRO130E60102

  54016395-2     0.15          60 psig          SMSQ2MICRO130E60602

  另外还有一个SMSQ2MICRO130E30602独立型号。45800978-2

Parker派克调压阀SMSQ2Micro系列Veriflo


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